第542章 三位院士，集体签字！
第542章 三位院士，集体签字！ (第1/2页)六天后。
庐州，联合科研中心。
上午九点，会议室里已经坐满了人。
周启山端着保温杯，刚走进门，就看见老梁站在投影前，来来回回核对最后一页材料。
“你再看一百遍，那三片晶圆也不会自己变成四片。”
老梁回过头，苦笑道：“周院士，我这不是怕漏东西吗？”
“原始记录都归档了，独立检测也复核过了，真有问题，咱们就老老实实回答。”
周启山说完，往会议桌前方看了一眼。
陈知远坐在那里，正低头翻着一份装订好的报告。
一身简单的休闲衬衫，神情轻松得像是来学校参加答辩。
周启山顿时有些好笑。
忙了三十天，最后的阶段评审就在眼前。
老梁这个干了二十多年工程的人紧张得不行，倒是全场最年轻的那个，连水都喝得不紧不慢。
九点半，评审正式开始。
此次参评的除了专项有关负责人，还有几位从其他科研单位请来的专家。
周启山等三位牵头院士负责介绍成果，独立评审组则依据资料和现场答疑作出意见。
前半段进展得很快。
本轮攻关做了什么，哪些指标通过了验证，哪些条件下还存在限制，报告里都列得清清楚楚。
三片测试晶圆的检测结果也被放到了屏幕上。
评审席上，一位头发灰白的专家翻到核心贡献人员名单，手指忽然停了下来。
陈知远。
十九岁。
华夏科学技术大学，在读。
他抬头朝前排看去。
原来坐在周启山旁边的年轻人，就是陈知远？
名字他当然听过。
高考满分，百米世界纪录，国际学术会议上表现出色的年轻人。
可听过归听过。
这毕竟是国产EUV原型平台的整机攻关，不是参加一场竞赛，更不是一个人算出一道难题就能结束的项目。
这么大的工程，让一个十九岁的大学生承担技术统筹？
老周真敢啊。
他合上那页资料，倒没有急着发表意见。
既然名字能写在这里，成果报告也已经送到眼前，他更想知道，这个年轻人到底起了多大的作用。
等周启山汇报结束，他才举了举手。
“我有个问题，想请陈知远同志回答。”
陈知远抬头。
“您说。”
“报告显示，原型平台完成了约定条件下的多轮对准曝光，三片样片通过阶段检测，这一点，材料是充分的。”
老人停了一下。
“但我想问问，你觉得这份成果，距离真正能投入芯片制造的工程应用，还有多远？”
老梁下意识坐直了些，这问题可不简单。
讲成果容易，讲成果的边界才见本事。
尤其年轻人，最容易一高兴就把话说满。
陈知远却几乎没有思考。
“还很远。”
会议室里安静了一瞬。
评审专家抬了抬眉毛。
陈知远接着说道：“这次证明的是，现有原型平台在规定工况下，能够让不同系统协同完成多轮对准曝光，而且结果有重复性。”
“但离真正连续制造可用芯片，还隔着不少问题，光源长期稳定性、整机可靠性、曝光效率、工艺窗口、最终良率……这些都不是三片测试晶圆能回答的。”
他说着，翻到报告后面。
“所以我们也没把它写成量产突破，现在完成的是阶段目标，接下来才是把‘能做出来’一步步推向‘能稳定、有效率地做出来’。”
那位专家点了点头。
“如果让你选下一阶段最值得优先投入的方向呢？”
“先把影响持续运行的限制找准，再决定资源怎么分。”
陈知远指了指屏幕上另一张图。
“上轮攻关最有价值的，不只是把验证提前了多久，而是把几组原来分开看的数据统一起来了，下一阶段我想保留这套协同机制，尤其是测量、控制和工艺验证之间的反馈。”
“有些问题，单看一个子系统，永远都得不出准确结论。”
专家看着他，继续追问了两句。
陈知远没有绕，也没有不懂装懂。
哪项数据已经验证，哪项还只是假设，他分得很清楚。
最让那位专家意外的，是陈知远回答时没有半点急于证明自己的意思。
这个年轻人似乎根本不在乎被问住会不会丢面子。
他只在乎问题本身。
“我没有其他问题了。”
专家放下笔，笑了笑。
“原先看你的履历，我还以为这份报告里的‘技术统筹’多少有点培养年轻人的意思，现在看来，是我想得简单了。”
周启山坐在旁边，终于忍不住笑出声。
“我当初也没敢一下子给他这么大的担子。”
“那后来呢？”
“后来？”
周启山指了指屏幕上的检测结论。
“后来这小子拿成绩逼着我给。”
会议室里响起一阵笑声。
老梁笑得尤其大声。
只有他知道，这话一点儿也不夸张。
评审又持续了一个多小时。
最终，独立评审组形成一致意见。
国产EUV原型平台本轮整机集成验证，达到事先确定的阶段目标，同意通过阶段评审。
结论念出来时，老梁握着笔的手顿了一下。
他没有像测试成功那天一样跳起来。
（本章未完，请点击下一页继续阅读）